該系統可針對硬質合金切削刀片等各類工具或零部件涂覆TiC、TiN、TiCN、α-Al2O3、 κ-Al2O3等單層及多層復合硬質化薄膜材料。CVD涂層與基體結合強度高，附著力強，均勻性好，形狀復雜的工件也可得到均勻的鍍層，薄膜厚度可達5-20μm。
       設備配有雙反應腔室，經濟高效，維護成本低，安全環保，并可靈活滿足未來不斷提升的CVD工藝需求。